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BD半岛三星旗下Semes成功开发出一种ArF-i光刻涂胶显影设备
类别:行业资讯 发布时间:2024-06-29 05:25:48 浏览: 次
BD官网三星电子旗下的韩国半导体和显示器制造设备公司表示,第一台名为“Omega Prime”的设备已于去年供货BD半岛,Semes正在制造第二台设备。目前,Semes已制造出KrF光刻涂胶/显影设备,并在此基础上开发了ArF版本BD半岛BD半岛,以支持波长更短的新型光刻机。
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